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  • 金盛微全自動磁控濺射系統共享

    儀器名稱:全自動磁控濺射系統儀器編號:12024341產地:中國生產廠家:金盛微納科技有限公司型號:MSP-150B出廠日期:201112購置日期:201211所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點:微電子所新所一層微納平臺固定電話:固定手機:固定email:聯系人:劉建設(,,zhaoting@tsinghua.edu.cn)竇維治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn)分類標簽:微納加工 半導體工藝 集成電路 磁控濺射技術指標:SiO2薄膜濺射;工藝溫度﹤200℃知名用戶:王喆垚(微電子所)、陳兢(北京大學)、何立平(中科院物理所)、嚴清峰(化學系)、許軍(微電子所)、尤政(精儀系) 朱榮(精儀系)、張志勇(北京大學)、金傳洪(浙江大學)技術團隊:設備工程師:林宏設備主管:劉建設項目主管:陳煒功能特色:可低溫(T﹤200℃)濺射SiO2膜,滿......閱讀全文

    金盛微全自動磁控濺射系統共享

    儀器名稱:全自動磁控濺射系統儀器編號:12024341產地:中國生產廠家:金盛微納科技有限公司型號:MSP-150B出廠日期:201112購置日期:201211所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點:微電子所新所一層微納平臺固定電話:固定手機:固定email:聯系人:劉建設(,,zh

    全自動磁控濺射系統共享應用

    儀器名稱:全自動磁控濺射系統儀器編號:12024341產地:中國生產廠家:金盛微納科技有限公司型號:MSP-150B出廠日期:201112購置日期:201211所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點:微電子所新所一層微納平臺固定電話:固定手機:固定email:聯系人:劉建設(,,zh

    多靶位磁控濺射系統共享應用

    儀器名稱:多靶位磁控濺射系統儀器編號:21012328產地:美國生產廠家:科特·萊斯科公司型號:PVD75出廠日期:購置日期:2021-07-12所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點:微電子所新所一層微納平臺固定電話:62781090固定手機:13661079620固定email:

    磁控濺射鍍膜機共享

    儀器名稱:磁控濺射鍍膜機儀器編號:13001328產地:中國生產廠家:創世威納科技公司型號:MSP-3200T出廠日期:201301購置日期:201301所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點:一樓平臺固定電話:固定手機:固定email:聯系人:魏治乾(010-62781090,19

    磁控濺射鍍膜機共享應用

    儀器名稱:磁控濺射鍍膜機儀器編號:13001328產地:中國生產廠家:創世威納科技公司型號:MSP-3200T出廠日期:201301購置日期:201301所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點:一樓平臺固定電話:固定手機:固定email:聯系人:魏治乾(010-62781090,19

    AJA-真空互聯磁控濺射鍍膜機共享應用

    儀器名稱:真空互聯-磁控濺射鍍膜機儀器編號:20004165產地:美國生產廠家:AJA型號:ATC-2200-UHV SPUTTER SYSTEM出廠日期:購置日期:2020-06-05項目名稱計價單位費用類別價格備注材料濺射元/小時自主上機機時費460.0Au等貴金屬加收100元/10nm所屬單位

    山東英盛全自動化元素分析系統進入ANTOP獎大眾評審

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    Nikon-Ti2E全自動活細胞顯微成像系統共享

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    清洗系統共享應用

    儀器名稱:清洗系統儀器編號:04009244產地:臺灣生產廠家:弘塑科技有限公司型號:SolventStrip出廠日期:200312購置日期:200410所屬單位:物理系>納米中心>納米中心加工平臺放置地點:納米樓超凈間固定電話:固定手機:固定email:聯系人:馬偉濤(010-62796022,1

    系統測試nikon共享應用

    儀器名稱:系統測試nikon儀器編號:A15000007產地:生產廠家:型號:出廠日期:購置日期:所屬單位:醫研院>生物醫學測試中心>尼康影像中心放置地點:醫學科學樓C153固定電話:固定手機:固定email:聯系人:曹慧珍(010-62798727,15210512148,caohuizhen@m

    青島盛瀚:打造極致離子色譜-開放共享核心部件

    ——青島盛瀚研發總監張習志專訪  近日,青島盛瀚的新品發布會上,全新離子色譜產品 CIC-D120+閃亮登場。盛瀚深耕離子色譜21年,不僅在國內離子色譜占有率第一,被評為我國細分領域的“隱形冠軍”,還出口70余個國家,讓中國高端制造遍布全球。發布會上,分析測試百科采訪了青島盛瀚研發總監張習志先生,他

    磁控濺射種類的介紹

      磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。  靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多

    磁控濺射的相關介紹

      磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點,而上世紀 70 年代發展起來的磁控濺射法更是實現了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺

    Axio-Scan.-Z1-Zeiss全自動數字玻片掃描系統共享應用

    儀器名稱:Axio Scan. Z1 Zeiss全自動數字玻片掃描系統儀器編號:17026728產地:德國生產廠家:Zeiss型號:Axio Scan. Z1出廠日期:201606購置日期:201710所屬單位:醫研院>生物醫學測試中心>細胞生物學平臺>細胞平臺光鏡機組放置地點:醫學科學樓C133固

    蔡司全自動玻片掃描儀共享

    儀器名稱:蔡司全自動玻片掃描儀儀器編號:18508551產地:德國生產廠家:zeiss型號:axio scan z1出廠日期:購置日期:2018-12-25所屬單位:生命學院>清華-IDG/麥戈文腦科學共享儀器開放實驗室放置地點:醫學科學樓D205固定電話:固定手機:13508411399固定ema

    金屬多靶磁控濺射機

      金屬多靶磁控濺射機是一種用于電子與通信技術領域的工藝試驗儀器,于2014年1月1日啟用。  1)真空系統:復合分子泵+直聯旋片無油機械泵抽真空系統;真空極限:優于5.0×10E-5Pa ;抽速:從大氣開始抽氣,濺射室25分鐘可達到10E-4Pa;系統漏率≤ 5×10-7PaL/s,系統停泵關機1

    磁控濺射原理的相關介紹

      磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子會受到電場和磁場作用,

    磁控濺射技術應用的現狀

      磁控濺射技術不僅是科學研究和精密電子制造中常用的薄膜制備工藝技術,經過多年的不斷完善和發展,該技術也已經成為重要的工業化大面積真空鍍膜技術之一,廣泛應用于玻璃、汽車、醫療衛生、電子工業等工業和民生領域。例如,采用磁控濺射工藝生產鍍膜玻璃,其膜層可以由多層金屬或金屬氧化物祖成,允許任意調節能量通過

    歐世盛攜新品全自動加氫反應儀亮相API-China

      分析測試百科網訊 2019年5月8日-10日,第82屆中國國際醫藥原料藥/中間體/包裝/設備交易會(API China)在杭州國際博覽中心召開。在本次展會上,歐世盛(北京)科技有限公司(以下簡稱“歐世盛”)舉辦新品發布會,推出自主研發、擁有多項技術的創新全自動加氫反應儀,更為用戶帶來實驗室流動化

    微透析檢測系統

      微透析檢測系統是一種用于基礎醫學、藥學、中醫學與中藥學領域的分析儀器,于2010年12月30日啟用。  技術指標  可以在清醒狀態下長時間取樣,注射液體流速穩定,可以自動收集樣品。流動相流出體積穩定,精確,自動取樣進行分析,能檢測特定物質,檢測標準達到要求;可對糖代謝物質進行檢測。  主要功能 

    盛元廣通礦物實驗室管理系統

    LIMS實驗室管理系統遵循ISO/IEC17025\CNAS\CMA等程序文件標準,可為實驗室提供及時、準確、可靠、可追溯的實驗室數據,加強樣品監督以及檢測過程中對各個質量控制環節的監控力度,提高實驗室管理及實驗室安全監督、事故追查、資源調配的能力,具體的建設目標如下:?1、LIMS系統可實現檢測流

    盛元廣通高校實驗室管理系統

    隨著國家對教育信息化發展進程的推進,互聯網+與智慧校園數字化時代已經來臨,陳舊傳統的實驗室管理模式已經不適應現在的實驗研究發展,在實驗教學過程中,實驗室作為學生掌握知識的重要場所,如何把它管理好、提高實驗儀器利用率是一個急需解決的問題。通過改變目前單機輔助模式的實驗室管理現狀,充分利用實驗室資源,培

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    儀器名稱:清洗系統儀器編號:04009245產地:臺灣生產廠家:弘塑科技有限公司型號:RCAPre出廠日期:200312購置日期:200410所屬單位:物理系>納米中心>納米中心加工平臺放置地點:納米樓超凈間固定電話:固定手機:固定email:聯系人:馬偉濤(010-62796022,1391032

    EVG高級顯影系統共享應用

    儀器名稱:高級顯影系統儀器編號:04001249產地:奧地利生產廠家:EVG型號:EVG101D出廠日期:200303購置日期:200403所屬單位:物理系>納米中心>納米中心加工平臺放置地點:納米樓超凈間固定電話:固定手機:固定email:聯系人:安東(010-62796021,187016473

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    儀器名稱:高級勻膠系統儀器編號:04001156產地:奧地利生產廠家:EVG型號:EVG101C出廠日期:200303購置日期:200403所屬單位:物理系>納米中心>納米中心加工平臺放置地點:納米樓超凈間固定電話:62796022固定手機:18701647330固定email:andong3014

    弘塑刻蝕系統共享應用

    儀器名稱:刻蝕系統儀器編號:04009242產地:臺灣生產廠家:弘塑科技有限公司型號:NitrideEtch出廠日期:200312購置日期:200410所屬單位:物理系>納米中心>納米中心加工平臺放置地點:納米樓超凈間固定電話:固定手機:固定email:聯系人:馬偉濤(010-62796022,13

    薄膜濺射沉積系統共享應用

    儀器名稱:薄膜濺射沉積系統儀器編號:16041495產地:中國生產廠家:AJA型號:ATC 2200-V出廠日期:201605購置日期:201612所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝放置地點:微電子所新所一樓108固定電話:固定手機:固定email:聯系人:竇維治(010-6278109

    Finefocus-X射線檢測系統共享

    儀器名稱:X射線檢測系統儀器編號:11027004產地:德國生產廠家:Finefocus型號:Finefocus_Cougar出廠日期:201107購置日期:201112所屬單位:集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝放置地點:微電子所新所一層微納平臺固定電話:固定手機:固定email:聯系人:鄭瑤(

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