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    21年來首次!佳能擴產光刻機設備!

    據日經新聞報道,佳能計劃投資500億日元提高光刻機產量,將其在日本的半導體制造設備產量翻一番。報道稱,佳能將在日本東部栃木縣新建一座半導體設備廠,目標將當前產能提高一倍,總投資額超過500億日元(約3.45億美元),工廠計劃在2023年動工,2025年開始運營。光刻是半導體電路形成不可或缺的核心技術,目前佳能在日本擁有2處半導體光刻設備生產基地,可用于汽車控制系統等應用的芯片制造,此次新工廠將建在現有工廠基礎上,這是佳能21年來建造的第一座光刻設備新工廠。佳能預測,2022年半導體光刻設備的銷量比上年增長29%,增至180臺,最近10年內激增至4倍。建設新工廠后,2個基地的總產能將增至約2倍。此外,佳能還在考慮在該工廠生產下一代設備,利用被稱為“納米壓印”(nano-imprint)的技術,開發以低成本制成尖端微細電路的新一代設備。目前,佳能公司與大日本印刷、鎧俠正共同開發納米壓印設備,在學術界,日本研究者也已經演示了10納米分......閱讀全文

    佳能倡環保惹爭議

      日本電子產品制造商佳能公司日前在亞洲推出一項新的營銷策略,即提倡有益環保的產品,并大力宣揚其優點。佳能希望在電子產品的環保風潮中能占據先機。   據環保網站ENN報道,該策略開始于日本,正擴展到菲律賓,其他亞洲國家很快也會有佳能環保產品上市。有消息稱,佳能公司在馬

    照相機歷史之十二 話說佳能相機

    話說佳能相機?佳能公司生產AF單反機的歷史要短于美能達和尼康,但憑借著自己的雄厚實力,無論在相機的研制及AF鏡頭的開發上,均超過了前面兩家,市場的占有率也分別高于這兩家。佳能先后生產了EOS 650、EOS 620、EOS 850、EOS 750、EOS 630(EOS 600)EOS-1、EOS

    什么是光刻機

    光刻機(Mask?Aligner)是制造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備。其分為兩種,一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;另一種是利用類似投影機原理的stepper,獲得比模板更小的曝光圖樣。高端光刻機被稱為“現代光學工業之花”,制造難度很大,全

    光刻機的分類

      光刻機一般根據操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動  A 手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度可想而知不高了;  B 半自動:指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧;  C 自動: 指的是 從基板的上載下載,曝光時長和循

    光刻機的種類

      a.接觸式曝光(Contact Printing):掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相當,設備簡單。接觸式,根據施加力量的方式不同又分為:軟接觸,硬接觸和真空接觸。  1.軟接觸 就是把基片通過托盤吸附住(類似于勻膠機的基片放置方式),掩膜蓋在基片上面;  2.硬接

    光刻機是什么

    光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫 Mask Alignment System.Photolithography(光刻) 意思是用光來制作一個圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電

    光刻機的概述

      光刻機(Mask Aligner)是制造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備。其分為兩種,一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;另一種是利用類似投影機原理的stepper,獲得比模板更小的曝光圖樣。高端光刻機被稱為“現代光學工業之花”,制造難度很大

    投影式光刻機簡介

      投影式光刻機一般采用步進-掃描式曝光方法。光源并不是一次把整個掩模上的圖形投影在晶圓上,曝光系統通過一個狹縫式曝光帶(slit)照射在掩模上,載有掩模的工件臺在狹縫下沿著一個方向移動,等價于曝光系統對掩模做了掃描,與掩模的掃描同步,晶圓沿相反的方向以1/4的速度移動。現代光刻機中,掩模掃描的速度

    光刻機的曝光度

    a.接觸式曝光(Contact Printing):掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相當,設備簡單。接觸式,根據施加力量的方式不同又分為:軟接觸,硬接觸和真空接觸。1.軟接觸 就是把基片通過托盤吸附住(類似于勻膠機的基片放置方式),掩膜蓋在基片上面;2.硬接觸 是將基片

    光刻機有哪些品牌?

      光刻機的品牌眾多,根據采用不同技術路線的可以歸納成如下幾類:  高端的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種,分辨率通常在十幾納米至幾微米之間,高端光刻機號稱世界上最精密的儀器,世界上已有7000萬美金的光刻機。高端光刻機堪稱現代光學工業之花,其制造難度之大,全世界只有少數幾家公司能夠制

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