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測量臺、曝光臺：承載硅片的工作臺，也就是本次所說的雙工作臺。 光束矯正器：矯正光束入射方向，讓激光束盡量平行。 能量控制器：控制最終照射到硅片上的能量，曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。 光束形狀設置：設置光束為圓型、環型等不同形狀，不同的光束狀態有不同的光學特性。 遮光器：在不需要曝光的時候，阻止光束照射到硅片。 能量探測器：檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求，并反饋給能量控制器進行調整。 掩模版：一塊在內部刻著線路設計圖的玻璃板，貴的要數十萬美元。 掩膜臺：承載掩模版運動的設備，運動控制精度是nm級的。 物鏡：物鏡由20多塊鏡片組成，主要作用是把掩膜版上的電路圖按比例縮小，再被激光映射的硅片上，并且物鏡還要補償各種光學誤差。技術難度就在于物鏡的設計難度大，精度的要求高。 硅片：用硅晶制成的圓片。硅片有多種尺寸，尺寸越大，產率越高。題外話，由于硅片是圓的，所以需要在硅片上剪一個缺口來確認硅片的坐標系，......閱讀全文
一文讀懂半導體制程技術進步的“燃料”——光刻膠 光刻膠又稱光致抗蝕劑，是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括：光引發劑（包括光增感劑、光致產酸劑）、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過光化學反應，經曝光、顯影等光刻工序將所需要的微細圖形從光罩（掩模版）轉移到待加工基片上。依據
微納加工技術指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構成的部件或系統的優化設計、加工、組裝、系統集成與應用技術，涉及領域廣、多學科交叉融合，其最主要的發展方向是微納器件與系統（MEMS和NEMS）。微納器件與系統是在集成電路制作上發展的系列專用技術，研制微型傳感器、微型執行器等器件和系統
生物建模的黑科技-快捷精準的定制化細胞微環境制備系統（一） Alveole PRIMO 的原理定制細胞模型， 研究微環境對細胞內和細胞間機能的影響是細胞和醫學研究的重要方向。 如何制備出具有可控性和重復性的微環境， 以便更有效的研究活細胞和疾病模型， 一直以來都是生物學家進行體外細胞研究所面臨的巨大
據美國物理學家組織網11月7日報道，美國科學家首次厘清了溫度在蘸筆納米光刻技術中的作用，據此研制出的熱蘸筆納米光刻技術能在物質表面構造大小為20納米的結構。借助這一技術，科學家們能廉價地在多種材料表面構造和種植出納米結構，用以制造電路和化學傳感器，或者研究藥物如何依附于蛋白質和病
微流控分析是以微管道為網絡連接微泵、微閥、微儲液器、微電極、微檢測元件等具有光、電和流體輸送功能的元器件，最大限度地把采樣、稀釋、加試劑、反應、分離、檢測等分析功能集成在芯片上的微全分析系統。目前，微流控分析芯片的大小約幾個平方厘米，微管道寬度和深度(高度)為微米和亞微米級。微流控分析芯片的加工技術
表面等離激元(surface plasmons)是一種局域在金屬和電介質界面處的電磁場模式，能夠突破光學衍射極限，將攜帶的光學信息和能量局域在亞波長尺度。在高端納米光學應用領域，如高分辯近場光學成像、針尖增強拉曼光譜，光學集成器件、納米光刻、光學信息存儲以及生物傳感等領域，通常需要將信號光聚
微流控芯片的發展 微全分析系統的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz與Widmer提出的，當時主要強調了分析系統的“微”與“全”，及微管道網絡的MEMS加工方法，而并未明確其外型特征。次年Manz等即在平板微芯片上實現了毛細管電泳與流動。微型全分析系統當前的發展前沿。
1. 微流控芯片的材料剛性材料——單晶硅、無定性硅、玻璃、石英等；剛性有機聚合物材料如環氧、聚脲、聚氨、聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯等；彈性材料——二甲基硅氧烷( PDMS) 。2. 微流控分析芯片材料的特點有機聚合物芯片材料的基本要求：①材料應易被加工；②有良好的光學透明性；③在分析條件下材料應是惰
國內的一組研究人員發表了題為“Nanoscale probing of electron-regulated structural transitions in silk proteins by near-field IR imaging and nano-spectroscopy”的文章，突破
一、預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，而涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝顯得更為必要，尤其在所刻線條比較細的時候，任何一個環節出現一點紕漏，都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，如果在晶
從金和硅中蝕刻出來的元件使得超材料結構可以迅速改變其傳播和反射光的能力。圖片來源：《自然》 擁有奇異光學特質的工程學結構已經走出實驗室，開始進入市場。 如果物理學家Tom Driscoll沒有再次聽到“哈利·波特的隱身衣”這樣的形容，他將十分開心。但他知道這無法避免。輿論界在報道超材
德國Andreas Erdmann教授承擔的“中國科學院外國專家特聘研究員”項目通過同行評議 4月14日，中科院上海光學精密機械研究所中科院強激光材料重點實驗室組織專家對德國Fraunhofer IISB教授Andreas Erdmann承擔的“中國科學院外國專家特聘研究員”項目(編號：2
二維半導體材料，比如二硫化鉬（MoS2），表現出了諸多新奇的特性，從而使其具有應用于新型電子器件領域的潛力。目前，研究人員常用電子束光刻的方法，在此類僅若干原子層厚的材料表面定域制備圖形化電極，從而研究其電學特性。然而，采用此類方法常遇到的問題之一是二維半導體材料與金屬電極
在資訊高度發達的今天，信息呈爆炸式增長。對如此眾多的信息怎樣實現檢測、轉換、傳輸、存儲和處理成為人們關注的重要問題。在過去的五十年里，晶體管的特征尺寸已按Moore定律由1cm降低到目前的近0.1μm，如今最新型的微處理器集成了4000多萬個晶體管，到201
三維微機電系統（MEMS）具有體積小、重量輕、能耗低、靈敏度高等特點，在精密機械、生物醫療、國防、航空航天、核工業等領域有廣泛的應用。MEMS系統的結構主要包括微型傳感器、微型執行器和處理電路三部分，其中關鍵部件微執行器主要采用物理或化學氣相沉積、光刻等技術制作成二維懸臂結構，三維微納驅動單元需
4 太赫茲數字編碼超材料隨著編碼超材料的發展，在太赫茲領域，各向異性編碼超表面[12]、張量編碼超表面[13]、頻率編碼超表面[14]以及編碼超表面的數字卷積運算[15]等理論被提出，并由此得到了低雷達散射截面、波束空間搬移、異常折射、貝塞爾波束等現象。下面將以基于編碼超材料的低雷達散射截面(RCS
在納米材料領域，美國國家標準與技術研究院的研究人員通過在納米尺度上采用一種獨特的三明治結構，開發出一種多壁碳納米管材料，其整體厚度還不到人類頭發直徑的百分之一，卻可以大幅降低泡沫制品的可燃性。國家直線加速器實驗室和斯坦福大學合作，首次揭示了石墨烯插層復合材料的超導機制，并發現一種潛在的工藝能使石
中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點實驗室陶虎課題組首次聯用近場紅外生物納米成像與納米成譜技術，突破光學衍射極限，空間分辨率達到10 nm，較傳統紅外光學表征技術提高了2個數量級，可在納米尺度下研究電子誘導蠶絲蛋白結構轉變機理，揭示蠶絲蛋白中關鍵構象的轉變規律，并可控制備出系列二
最近，中國科學院物理研究所/北京凝聚態物理國家實驗室（籌）張廣宇研究組與高鴻鈞研究組、王恩哥研究組合作，利用自制的遠程電感耦合等離子體系統，首次成功實現了石墨烯的可控各向異性刻蝕。這種基于石墨烯的各向異性刻蝕技術是我國科學家在該研究領域中獨具特色的工作，相關結果發表在【Advan
目前，通過工程、物理、化學、生物、納米技術的交叉應用，微流控技術已從單通道器件迅速發展到目前的多路復用、自動化和高通量的復雜分析系統。早期的微流控產品多數結構較為簡單，依靠毛細作用或離心力，或者直接利用體積較大的氣泵實現液體的驅動；目前的微流控芯片集成了更多主動器件，如微泵、微閥、微噴頭，進行液體的
微流控是指在微尺度上精確控制和操縱流體的技術。20世紀80年代，微流控技術開始出現，最初被稱為"微型全分析系統"( miniaturized totalanalysis systems, mTAS)[1]，或者"芯片實驗室"(laboratoryon a ch
光學性質是超材料最為重要的一種性質。光學超材料是傳輸光線的材料，這些材料以折射、反射和透射的方式，改變光線的方向、強度和位相，使光線按預定要求和路徑傳輸，也可吸收或透過一定波長范圍的光線而改變光線的光譜成分。 目前已有的研究中，光學超材料多采用玻璃、晶體、塑料等作為結構制作原型，與傳統不同的是
芯源公司“集束型勻膠顯影設備”獲遼寧省優秀新產品二等獎 近日，經第八屆遼寧省優秀新產品獎評審委員會審查，省政府批準，中科院沈陽自動化研究所持股公司芯源公司申報的“集束型勻膠顯影設備”被授予遼寧省優秀新產品二等獎。在本屆遼寧省新產品評選中，共有31項產品獲得一等獎，二等獎59項。評選省
光波導，因其輕薄和外界光線的高穿透特性而被認為是消費級AR眼鏡的必選光學方案，又因其價格高和技術門檻高讓人望而卻步。隨著主流AR設備微軟HoloLens2、Magic Leap One等對光波導技術的采用和設備量產，以及AR光學模組廠商DigiLens、耐德佳、靈犀微光等近期融資消息的頻繁披露，
近日，中國科學院重慶綠色智能技術研究院太赫茲技術研究中心研究團隊在高性能太赫茲偏振器件研究方面取得進展，相關研究成果以A Terahertz Polarizer Based on Multilayer Metal grating filled in Polyimide Film 為題在IEEE
基因芯片 技術的誕生為生物技術工作人員打開了一道科研的便利之門，曾被評為1998年年度十大科技進展之一。本文對基因芯片的實驗原理、技術基礎、分類、用途、操作主要環節等內容做詳細的介紹。 1.基本原理和技術基礎 基因芯片以DNA雜交 為基本原理，基于A和T、G和C的
基因芯片 技術的誕生為生物技術工作人員打開了一道科研的便利之門，曾被評為1998年年度十大科技進展之一。本文對基因芯片的實驗原理、技術基礎、分類、用途、操作主要環節等內容做詳細的介紹。 1.基本原理和技術基礎 基因芯片以DNA雜交 為基本原理，基于A和T、G和C的互補關系。它是在探針的基礎上
分析測試百科網訊 2021年7月14日，由北京卓立漢光儀器有限公司、北京必創科技股份有限公司、北京懷柔硬科技創新服務有限公司主辦的第二屆逐夢光電國產分析儀器研制與應用研討會在北京隆重舉行。論壇有近千余人在線參加論壇。分析測試百科網作為論壇支持媒體，為您帶來全程跟蹤報道。北京卓立漢光儀器有限公司董
原子層刻蝕有助于減少這些隨機缺陷的影響。因為它在自限性步驟中逐層進行，而且因為工藝步驟將化學活性物質與高能離子相分離，因此原子層刻蝕不會產生傳統的刻蝕工藝中出現的粗糙的鑲邊層。更重要的是，原子層刻蝕與原子層沉積的重復循環，能夠降低EUV中隨機缺陷引起的粗糙度。凹凸表面比平面具有較高的表面體積比，這就
3、基于硅的MICROFLUIDICS設備硅已經成為制造MICROFLUIDICS通道的優選襯底，因為它具有對各種條件的高耐受性以及低的鍵合溫度要求。此外，使用硅作為MICROFLUIDICS中的平臺不僅使器件小型化，而且在設計部分提供了靈活性。3.1基于硅的MICROFLUIDICS器件的制造制造