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由于氦氣分子顆粒小,滲透性好,而且氦質譜檢漏儀對氦氣敏感,所以微漏也能檢出來......閱讀全文
由于氦氣分子顆粒小,滲透性好,而且氦質譜檢漏儀對氦氣敏感,所以微漏也能檢出來
由于氦氣分子顆粒小,滲透性好,而且氦質譜檢漏儀對氦氣敏感,所以微漏也能檢出來
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第二炮兵工程學院 作者：孫開磊? ? 氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級,儀器響應快,氦分子在儀器高真
檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣，用質譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀，對分辨率和檢測的質量范圍要求很低，但對靈敏度要求較高。樓上的回答則是質譜儀中的一種磁質譜儀
1、為什么要檢漏? ?很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液
1、為什么要檢漏????? 很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容
? ? 氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。? ? ①單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀? ? 現以HZJ—l型儀器為例．介紹單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀。? ? 在質譜室內有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由
一、為什么要檢漏泄漏和密封相對應很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣
氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成