| 儀器名稱： | 光刻機 |
| 儀器編號： | 20004477 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | SUSS Micro Tec Lithography Gmb |
| 型號： | MJB4 |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2020-06-09 |
| 所屬單位： | 電子系>納米光電子綜合測試平臺 |
| 放置地點： | 羅姆樓B1-304室 |
| 固定電話： | 62796594 |
| 固定手機： | |
| 固定email： | haosun@tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 張秀華（010-62796594,13001178656,zhangxiuhua@mail.tsinghua.edu.cn） 孫皓（010-62796594,15910619833,haosun@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 工藝加工 |
| 技術指標： | 光刻機系統主機，包括機械、氣動及電控裝置；對準臺；芯片厚度補償系統；對準顯微鏡；紫外光曝光系統；光刻板及芯片夾具；光強計；真空泵；防震平臺等。 光刻機是微電子及光電子器件關鍵的工藝設備，科研人員通過光刻工藝將掩模版上的圖形顯像到芯片的光刻膠上，在經過其他工藝如刻蝕、擴散等，最終在芯片上形成需要的圖形結構，這樣經過幾次甚至十幾次反復工藝，形成具有特殊功能的微電子光電子器件。 |
| 知名用戶： | 清華大學電子系，物理系，材料系，微電子所，北京大學，北京理工大學，中科院物理所，浙江大學，南京大學，南京理工大學，廈門大學，深圳技術大學等 |
| 技術團隊： | 儀器開放管理團隊由一名事業編制教工主管、兩名合同制人員協管及 3 名助教博士組成。 主管教工已在實驗室管理儀器近 10 年，并自主搭建多套精密測量系統，有著豐富的設備管 理及儀器維護經驗。兩名協管人員在常規化儀器使用及測試管理方面有著較為豐富的經驗， 也具備了一定的分析問題、解決問題的能力。3 名助教博士均有一年以上的研究及測試經歷， 并將科研上的理論知識與實際儀器操作相結合，提高了動手能力的同時開拓了研究視野。 同時，測試工作由實驗室資深的工程師或者技術人員進行操作和支援。 |
| 功能特色： | 主機：采用觸摸屏幕操作的PLC控制系統；可進行工藝參數編程設定，工藝操作方便快捷。具有可靠的找平系統，對芯片厚度進行補償，確保設備長期穩定可靠的工作. |
樣品要求：
樣品要求:與平臺測試人員聯系具體細節
預約說明：
實驗室設備以組內學生做實驗為主，空余時間對外開放，需要的老師同學們可以提前預約，根據設備空余時間進行安排做測試（送樣檢測為主）。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 光刻機 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 660.0 | |
| 光刻機-送樣測試 | 元/小時 | 測試費 | 1000.0 |
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