上海微系統所高性能集成量子電流傳感器通過驗收

近日，中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感器技術全國重點實驗室研制的基于鉆石負電荷氮空位色心的高性能集成量子電流傳感器（以下簡稱量子電流傳感器），順利通過用戶單位中國南方電網公司牽頭組織的新產品技術鑒定。

該研究工作由中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員武震宇、陳浩牽頭，創新點是將鉆石量子敏感材料與硅基微機電系統（MEMS）技術相結合，實現高密度多器件垂直互聯與異質異構一體化集成，在 2.4立方厘米的小體積內實現多種量子信號傳感芯片的制備，為電力工業電流精密測量提供了核心傳感器。

在可靠性增強方面，研究團隊利用雙通道差分解耦測量的溫漂抑制技術，實現了寬溫域和復雜電磁環境中1毫安至10千安量程下0.06%的高精度和0.1%的低溫漂測量。依據國標要求，全面驗證了±800千安直流工程對傳感器的高壓絕緣、雷擊、動熱穩定、電磁兼容等特性，通過了掛網型式驗證試驗。