一種過程質譜儀的進樣接口裝置的制作方法

本實用新型涉及質譜分析技術領域，更具體地，涉及一種過程質譜儀的進樣接口裝置。

背景技術：

質譜分析法是通過測定樣品離子的質量m與電荷z之比(簡稱質荷比，m/z)來進行分析的一種分析方法。被分析的氣體樣品首先要離子化，然后利用不同離子在磁場或電場中運動軌跡的不同，把離子按質荷比分開而得到質譜圖，進而得到樣品的分析結果。質譜儀是根據帶電粒子在電磁場中偏轉的原理，按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的儀器，一般由檢測系統、真空系統、電學系統和數據處理系統四部分組成。其中，檢測系統由進樣系統、離子源、質量分析器和離子檢測器組成。樣品通常由進樣系統導入到離子源，在離子源中被電離成離子，離子束按照質荷比大小由質量分析器分開，被離子檢測器接收并記錄而獲得質譜圖。真空系統提供和維持質譜儀正常工作所需的真空度，通常為10-2Pa～10-5Pa。

過程質譜儀，又稱作工業質譜儀或在線分析儀，是安裝于現場，對生產流程中的氣體進行定性定量分析的一種質譜儀。因此，對過程質譜儀的一個重要的要求是分析速度快，一些情況下需要在僅數秒或十數秒的時間內對一個氣體流路進行分析。目前，過程質譜儀的進樣系統通常采用毛細管將氣體樣品注入到過程質譜儀的離子源。

由于過程質譜儀正常工作所需的真空度通常為10-2Pa～10-5Pa，生產流程中的氣體的氣壓都遠遠高于離子源中的氣壓，從而進樣系統須采用具有較大氣阻的管路，如采用長度較長且內徑很細的毛細管，氣體通過緩慢擴散的方式進入到過程質譜儀的離子源，因而氣體樣品難以在短時間內進入到離子源；氣體樣品的進樣時間過長，影響了過程質譜儀的工作效率，不能保證在較短的時間內完成對氣體樣品的質譜分析。

技術實現要素：

為了克服上述問題或者至少部分地解決上述問題，本實用新型提供一種過程質譜儀的進樣接口裝置。

根據本實用新型的一個方面，提供一種過程質譜儀的進樣接口裝置，包括：三通導管和微孔板；三通導管的任一接口對應的通道內設有微孔板，微孔板所在的平面與通道的橫截面的夾角小于90°，且微孔板與通道的內壁緊密貼合，微孔板的中心部位設有微孔。

其中，微孔的孔徑為2～100μm。

其中，通道包括第一子通道和第二子通道，第一子通道的橫截面面積大于第二子通道的橫截面面積，第一子通道和第二子通道之間有過渡面，微孔板與過渡面緊密貼合。

其中，第一子通道的橫截面為圓面。

其中，進樣接口裝置還包括微孔板固定螺母，微孔板固定螺母設有外螺紋，第一子通道的內壁設有內螺紋，微孔板固定螺母設有的外螺紋與第一子通道的內壁設有的內螺紋相匹配，第一子通道和第二子通道之間的過渡面為平面，過渡面平行于通道的橫截面，微孔板固定螺母通過向微孔板的方向旋轉以緊壓微孔板；微孔板固定螺母的中心部位設有通孔，通孔的方向垂直于微孔板固定螺母的橫截面，通孔與微孔形成氣體通路。

其中，三通導管的每一接口包括螺母、卡套和管口；管口的橫截面為圓環面，管口設有與螺母相匹配的外螺紋，螺母旋合在管口上；卡套位于螺母和管口內側，卡套的外壁為圓錐面，卡套的外壁與管口緊密貼合。

本實用新型提供的一種過程質譜儀的進樣接口裝置，包括：三通導管和微孔板；通過在三通導管的任一接口對應的通道內設有微孔板，微孔板的中心部位設有微孔，氣體通過該通道時，需經微孔板中心部位的微孔通過；其中，該通道連接至過程質譜儀，三通道管剩余的兩個通道分別連接至氣體樣品和采樣泵，使用采樣泵降低三通道管剩余的兩個通道中的氣壓，再通過微孔控制氣體進入到過程質譜儀，相比于現有技術中的毛細管，微孔會大大減少質譜分析過程中氣體樣品的進樣時間，從而提高過程質譜儀的工作效率。