三維光學輪廓儀

ContourGT-X

滿足GR&R(重復性/再現性)，用于研發和生產的自動計量方案

ContourGT-X

ContourGT-X 三維光學輪廓儀提供高性能非接觸表面測量，適用于實驗室研究和生產過程控制。該測量系統融合了十代白光干涉（WLI）創新和設計，可在業界最大的視場范圍內提供最高的垂直分辨率。該系統主要包括全自動化系統與生產界面，一個大型電動 XYZ 平臺、掃描頭的傾斜/俯仰以及一個集成氣浮式防震臺。ContourGT-X 專為滿足最苛刻的研發、質量保證和工藝質量控制需求而設計，提供了具有計量能力的頂級三維光學精度和測試穩定性解決方案。

全面 自動化

最快、最簡單的納米級測量。

定制化 生產界面

提供簡化的工作流程、自動定位和測量程序。

自校準 激光基準

確保最佳的生產計量、可重復性和測試穩定性。

特點

適于生產的設計和可靠性

ContourGT-X 融合了布魯克專利傾斜/俯仰頭、專利自校準激光基準系統、圖案識別及其他多項專有的干涉創新技術，可提供極其精確的表面計量和量產所需的測試高效率。該系統的自動化配置可在幾乎所有生產環境中實現快速優化，組件包括用于提升 X、Y、Z 晶圓定位精度的氣墊桌穩定器套件，以及PDU、EMO 和真空系統，以兼容自動取放片拾取頭的改進型真空吸盤。

高精度平臺，實現超高分辨成像

ContourGT-X 高精度馬達 XY 平臺可在 X 方向和 Y 方向上進行 12 英寸的編碼運動。該平臺支持自動化路徑設定，如多點數據采集，及拼接功能以實現大面積分析。0.5 微米編碼器，提供可靠、可重復的自動化和樣品定位。通過直觀的操縱桿和軟件界面控制，使操作人員輕松定位樣品。

使用簡便的表面測量和分析軟件

布魯克的 Vision64? 操作分析軟件擁有業界功能最強、最簡化的圖形用戶界面，將智能架構與直觀可視化工作流程和廣泛用戶自定義自動化功能融合在一起，實現快速、全面的數據收集和分析。使用先進生產界面，ContourGT-X 幾乎適用于所有生產環境和自動化過程。該界面提供了自定義工作流程、自動定位和選取測量程序的工具。

ContourGT-X

Contour GT-X家族三維光學顯微鏡為實驗室研究和生產工藝控制提供最佳性能的非接觸式表面計量方案。X3和X8型號集十代白光干涉技術設計之大成，成為市場上三維光學輪廓儀在測量速度、分辨率、重復性、準確性等性能上最優和大批量生產中效率最佳的選擇。

Contour GT-X的獨特優勢包括以下幾點：

• 可快速方便定位的電動X、Y、Z平臺和電動測量頭部傾斜裝置；

• 集成式防震臺與特殊設計的基座提供優異的抗震性能；

• 業界率先推出基于64位的Vision64軟件使用戶更方便地分析各種應用數據，廣泛應用于眼科材料，醫療器械，精密機械加工零件，太陽能電池，高亮度LED和半導體器件等的各種材料的表面測量。

此外，獨特的雙LED光源設計（專利）配合0.5x到230x的放大倍數保證了優異的測試質量。

• 激光自動校準（專利）保證了測量的準確性，重復性以及多臺機機器同時使用時的一致性。

• Vision64的64位軟件架構與多核處理器結合將測量復雜表面的測量分析速度提高了10倍。

• 通過數千張單幅掃描的數據的一次拼接可實現連續大面積高分辨的圖片。

• AcuityXR 功能打破了光學分辨極限，可分辨出小于130nm的特征尺寸。

• Vision64軟件的圖形化界面進一步提升了用戶的易用性，同時也為獲得的更加廣泛的數據提供了更有效地分析功能。

  
  

       用于工藝質量監控定標性測試系統ContourGT-X是實驗室開發到批量生產均可適用的高性能儀器。它積累了前十代產品在白光干涉技術上的創新，實現了快速地三維表面測量，從納米級粗糙度表面的測量到毫米級臺階的測量，垂直分辨率可達亞納米級。可編程的XYZ控制和掃描頭自動控制，使得儀器操作簡便易行。配備的Vision64軟件，具有業界儀器測量和數據分析功能，而其優化設計的用戶界面為使用者自行定義自動測量和數據分析提供了便利。

       ContourGT-X是當今業界先進的白光干涉儀，可用于眼科鏡片、醫療器械、高亮度LED、半導體器件、TSV、太陽能電池片、汽車零部件、觸摸屏和加工零件等各行業，為用戶提供快速、準確地三維非接觸式測量。內部激光自校準技術可以自動校準因環境或機械不穩定產生的漂移，無需標準塊。大學、研究所，工業領域的LED行業、太陽能行業、觸摸屏行業、半導體行業以及數據存儲行業、科學研究、產品開發、質量控制及失效分析等領域業界先進的白光干涉儀

ContourGT-X配備傾斜調整支架、全自動X,Y, Z 樣品臺、自動視場目鏡轉換臺，測試過程更快、更便捷。節省空間高穩定性的基座設計以及與機臺集成一體式的防震系統，使系統具有防震性與穩定性。配備新的Vision64軟件，具有業界儀器測量和數據分析功能，而其優化設計的用戶界面為使用者自行定義自動測量和數據分析提供了便利。

儀器特性：

·  業界標桿，大視場下高的垂直分辨率

·  從0.5x到200x不同放大倍率實現不同面型和織構表面的表征

·  硬件的優化設計進一步的儀器抗噪聲能力、系統靈活性和測量穩定性

·  激光自校準技術使得儀器間測量數據一致，保證測量的重復性和準確性

·  優異的縫合能力可以對上千個數據無縫拼接，實現樣品大面積檢測

·  多核處理器和64位軟件使數據分析速度提高十倍以上