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  • 發布時間:2018-07-31 22:31 原文鏈接: 原子力顯微鏡的原理詳述

    原子力顯微鏡的原理詳述


    如下圖所示,激光束經過光學系統聚焦在微懸臂(Cantilever)背面,并從微懸臂背面反射到位置檢測器(Detector)。在樣品掃描時,由于樣品表面的原子與微懸臂探針尖端的原子間的相互作用力,微懸臂將隨樣品表面形貌而彎曲起伏,反射光束也將隨之偏移,因而,通過檢測光斑位置的變化,就能獲得被測樣品表面形貌的信息。

    在系統檢測成像全過程中,探針和被測樣品間的距離始終保持在納米量級,距離太大不能獲得樣品表面的信息,距離太小會損傷探針和被測樣品,反饋回路(Feedback)的作用就是在工作過程中,由探針得到探針與樣品相互作用的強度,來改變加在樣品掃描器垂直方向的電壓,從而使樣品伸縮,調節探針和被測樣品間的距離,反過來控制探針與樣品相互作用的強度,實現反饋控制。

     




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