X射線熒光光譜儀結構

該系統由X射線發生器、光譜儀主體部分、電氣部分及系統控制器、計算機部分組成。

3.1 X射線發生器
X射線發生器由高壓變壓器及管流管壓控制單元、X射線管、熱交換器。 3.1.1高壓變壓器及管流管壓控制單元
產生高穩定的高壓加到X射線管上用以產生X射線。這里利用高電壓加速的高速電子轟擊X射線管金屬靶面產生X射線的原理。 3.2 光譜儀主體部分 3.2.1 樣品進給器
樣品進給器，是樣品進入真空系統的一個過渡。因為熒光X射線在空氣中會被衰減，所以樣品分析需要在真空環境下進行。這樣，試樣就需要從大氣狀態進入真空環境。 3.2.2 樣品室
樣品室連接樣品進給器和分析室，與二者一起組成真空腔。樣品在樣品室里完成樣品的升舉、下降、樣品交換和自旋。 3.2.3 初級x射線濾片
濾片的作用是消除可能提高背景或對某些元素產生迭譜干擾的特征譜線，從而提高對這些元素分析的靈敏度。濾波片采用K吸收緣介于元素的Kα和Kβ的波長之間的材料制成。 3.2.4 光闌
由于來自X光管的X射線不僅照射到分析樣品上，也會照射到樣品盒及樣品罩上。而產生來自樣品盒或罩上的不需要的熒光射線，從而影響分析精度，因此使用了光闌系統來保證只允許來自分析樣品的熒光X射線進入計數器。 3.2.5 狹縫
來自樣品的熒光X射線和散射線都不是單一方向的，入射狹縫裝在樣品和分光晶體之間，它只允許指向分光晶體方向的熒光X射線通過，而吸收其它方向的射線，從而提高了光譜分辨率。 3.2.6 晶體交換器與分光晶體
入射光線(即透射光線)與衍射光線之間的夾角一定等于2θ，光譜儀裝有八個位置的晶體交換器，可以選擇安裝如下晶體：

LIF(200)：用于重元素測量(Ca以上元素)。 PET(002)：用于輕元素測量(Al到Ti之間)。 TAP(100)：用于測量Mg、Na、F。 Ge(111)：用于測量S、Po RX—4：用于測量51。 EDDT(020)：同PET。 ADP(101)：用于測量Mg。 3.2.7 計數器
系統使用兩種計數器，一種是流氣正比計數器，一種是閃爍計數器。通常正比計數器，用于測量波長長于Cu Kα(其波長為0.154mn)的光譜。而閃爍計數器用于測量波長短于Ca Kβ(其波長為0.336nm)的光譜。 3.2.8 真空系統
由于熒光射線在空氣中會被吸收，從而降低熒光射線的強度，所以分析需要在真空環境里進行。 3.2.9 舉升機構
升舉機構，升舉時將樣品盒送至樣品進給器中，下降時將樣品盒送至樣品交換器的樣品圓盤上。 3.2.10 樣品自旋
樣品自旋，可以使制備的樣品勻速旋轉，以消除由于樣品表面元素分布不均勻所產生的計數誤差。