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  • 發布時間:2018-07-26 19:21 原文鏈接: SEM知識點掃盲十一

     34. 陰極發光(Cathodoluminescence):當電子束產生之電子-空位對再結合時,會放出各種波長電磁波,此為陰極發光(CL),不同材料發出不同顏色之光。


      35. 樣品電流(Specimen Current):電子束射到樣品上時,一部份產生二次電子及背向散射電子,另一部份則留在樣品里,當樣品接地時即產生樣品電流。


      36. 電子偵測器有兩種,一種是閃爍計數器偵測器(Scintillator),常用于偵測能量較低的二次電子,另一種是固態偵測器(solid state detector),則用于偵測能量較高的反射電子。


      37. 影響電子顯微鏡影像品質的因素:

      A. 電子槍的種類:使用場發射、LaB6或鎢絲的電子槍。

      B. 電磁透鏡的完美度。

      C. 電磁透鏡的型式: In-lens ,semi in-lens, off-lens

      D. 樣品室的潔凈度: 避免粉塵、水氣、油氣等污染。

      E. 操作條件: 加速電壓、工作電流、儀器調整、樣品處理、真空度。

      F. 環境因素: 振動、磁場、噪音、接地。


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