ICP形成原理

　　當高頻發生器接通電源后，高頻電流I通過感應線圈產生交變磁場(綠色)。

　　開始時，管內為Ar氣，不導電，需要用高壓電火花觸發，使氣體電離后，在高頻交流電場的作用下，帶電粒子高速運動，碰撞，形成“雪崩”式放電，產生等離子體氣流。在垂直于磁場方向將產生感應電流（渦電流，粉色），其電阻很小，電流很大(數百安)，產生高溫。又將氣體加熱、電離，在管口形成穩定的等離子體焰炬。如圖1。

　　圖1

　　ICP形成原理

　　ICP焰明顯地分為三個區域：

　　（1）焰心區，不透明，是高頻電流形成的渦流區，等離子體主要通過這一區域與高頻感應線圈耦合而獲得能量，該區溫度高達10000K；

　　（2）內焰區位于焰心區右方，一般在感應圈右邊10-20mm左右，呈半透明狀態，溫度約為6000-8000K，是分析物原子化、激發、電離與輻射的主要區域；

　　（3）尾焰區在內焰區右方，無色透明，溫度較低，在6000K以下，只能激發低能級的譜線。

　　ICP具有以下特點：

　　（1）溫度高，惰性氣氛，原子化條件好，有利于難熔化合物的分解和元素激發，有很高的靈敏度和穩定性；

　　（2）“趨膚效應”，渦電流在外表面處密度大，使表面溫度高，軸心溫度低，中心通道進樣對等離子的穩定性影響小。能有效消除自吸現象，線性范圍寬（4～5個數量級）；

　　（3）ICP中電子密度大，堿金屬電離造成的影響小；

　　（4）Ar氣體產生的背景干擾小；

　　（5）無電極放電，無電極污染；

　　（6）ICP焰炬外型像火焰，但不是化學燃燒火焰，氣體放電；

　　（7）對非金屬測定的靈敏度低，儀器昂貴，操作費用高，這是ICP的缺點。