試樣引入ICP光源的主要方式有：
霧化進樣（包括氣動霧化和超聲霧化進樣）、電熱蒸發進樣、激光或電弧和火花熔融進樣，對于特定元素還可以采用氫化物發生法進樣。其中，以氣動霧化方式最為常用。
原因包括（1）樣品在ICP光源中的原子化與激發是在惰性氣體Ar的氛圍進行的，因此不容易氧化電離；（2）樣品的原子化與激發過程是在ICP焰炬的中心進行的，溫度很高，且與空氣接觸的機會少，因此不容易氧化電離；（3）ICP焰炬中存在大量的電子，抑制了待測元素的電離。
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