1． 頻率方面指標：
測量頻率范圍：反映頻譜儀測量信號范圍能力；
頻率分辨率：反映頻譜儀分辨兩個頻率間隔信號的能力。
2． 幅方面度指標：
靈敏度：頻譜儀發現小信號的能力；
內部失真：反映頻譜儀測量大信號的能力；
動態范圍：頻譜儀同時分析大信號和小信號的能力。
3. 另外頻譜儀的性能還包含其分析精度和測量速度。
測量諧波失真或搜索信號要求頻率范圍從低于基波擴展到超過多次諧波。測量交調失真則要求窄的掃頻寬度（span），以便觀察鄰近的交調失真產物。因此，首先是選擇有足夠頻率和掃寬范圍的頻譜分析儀。第二個要求是什么樣的頻率分辨率？測量雙音交調對分辨率提出了嚴格的要求。
頻譜分析儀測量頻率范圍由其本振范圍決定。通過采用本振的諧波可擴展頻譜分析儀的分析頻率范圍，還可采用外混頻方法將其分析頻率范圍擴展至更高（75GHz； 110GHz；325GHz等）。