輝光放電質譜分析量化高純度材料過程中基體效應的影響

天空科技/TMS張輝建

　　天空科技/TMS張輝建發表主題為“輝光放電質譜分析量化高純度材料過程中基體效應的影響”的精彩報告。輝光放電質譜可廣泛應用于高純晶金屬材料、先進陶瓷材料、光學/激光晶體等高純度材料。報告圍繞輝光放電質譜量化基礎前提、量化準確度提升方向、量化方式（標準RSF、校正RSF）展開介紹。張輝建指出，將進一步開發雙聚焦GDMS儀器的分析潛力，挑戰高精度和可重復性的工業要求，同時將配合TOF-MS廣泛投入到納米結構材料及大分子材料的深度剖析分析當中。