質譜分析法術語火輝光放電質譜法

輝光放電質譜法（glow discharge mass spectrometry，GDMS）

利用輝光放電質譜儀進行質譜測量的一種分析方法。GDMS是無機固體材料，特別是高純材料中痕量雜質檢測的有效方法。