1．先把讀數顯微鏡進行調零（注意要輕輕旋轉旋鈕，因為讀數顯微鏡是高精度儀器且成本高，用力過大會導致精度降低）；
2．然后將打上壓痕的元件置于水平工作臺面上；
3．把讀數顯微鏡置于元件上（當顯微鏡與工件置于一起時，手不要抖動，因為顯微鏡與工件的結合不是很緊固，稍不注意會造成讀數誤差），把透光孔對向光亮處；
4．通過旋轉螺母，使標線沿X軸左右移動；
5．標線與壓痕的兩側分別相切，此時標線走過的距離即為壓痕直徑；
6．把工件旋轉90°，再測量一次（但由于壓痕通常為不規則形狀，故要把工件旋轉90°，再測量一次取平均值），取兩次結果的平均值，即得到孔的最終直徑。
7．記下讀數后，把顯微鏡歸零后收放到指定位置。