電容薄膜bai真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原du理是把加于電容薄zhi膜上的壓力變dao化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。電容式薄膜真空計原理根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是 -：種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。