電子能量損失譜分析簡稱EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy)是利用入射電子束在試樣中發生非彈性散射,電子損失的能量DE直接反映了發生散射的機制、試樣的化學組成以及厚度等信息,因而能夠對薄試樣微區的元素組成、化學鍵及電子結構等進行分析。