電容式傳感器是將被測非電量的變化轉化為電量變化的一種傳感器。它具有結構簡單、分辨力高、可非接觸測量 , 并能在高溫、輻射和強烈震動等惡劣條件下工作的優點。隨著集成電路技術和計算機技術的發展 , 促使它揚長避短成為一種很有發展前途的傳感器。
電容式傳感器的形式有很多種。最簡單的就是平板型電容器 , 忽略邊緣效應影響時 , 其電容量與真空介電常數ε0 (80 854 ×10 -12 F ·m -1) 、極板間介質的相對介電常數εr 、極板的有效面積 A 以及兩極板間的距離δ有關 , 即C = ε0εr A / δ.
若被測量的變化使式中三個參量中任意一個發生變化時 , 都會引起電容量的變化 , 通過測量電路就可轉換為電量輸出。因此 , 電容式傳感器可分為變極距型、變面積型和變介質型三種類型