真空計的壓力測量范圍和特點以及真空計選用原則

　　真空計測量范圍

　　壓力測量中，除極少數直接測量外，絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象，然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。

　　任何具體物理現象與壓力的關系，都是在某一壓力范圍內才最顯著，超出這個范圍，關系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數級(105～10-14pa)，沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區域，往往要造成較大的誤差。

　　在被測空間引起一定物理現象，還會出現這樣的問題，即從測量的角度出發，本需要一種單純的物理現象，但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現象，這些寄生現象不但給測量量帶來誤差，有時還會“喧賓奪主”，完全把主要現象掩蓋住了。

　　由上觀之，為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，抑制寄生現象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。

　　表1 一些真空計的壓力測量范圍

　　真空計名稱

　　測量范圍(Pa)

　　真空計名稱

　　測量范圍(Pa)

　　水銀U型管

　　105～10

　　高真空電離真空計

　　10-1～10-5

　　油U型管

　　104～1

　　高壓力電離真空計

　　102～10-4

　　光干涉油微壓計

　　1～10-2

　　B-A計

　　10-1～10-8

　　壓縮式真空計(一般型)

　　10-1～10-3

　　寬量程電離真空計

　　10～10-8

　　壓縮式真空計(特殊型)

　　10-1～10-5

　　放射性電離真空計

　　105～10-1

　　彈性變形真空計

　　105～102

　　冷陰極磁放電真空計

　　1～10-5

　　薄膜真空計

　　105～10-2

　　磁控管型電離真空計

　　10-2～10-11

　　振膜真空計

　　105～10-2

　　熱輻射真空計

　　10-1～10-5

　　熱傳導真空計(一般型)

　　102～10-1

　　分壓力真空計

　　10-1～10-14

　　熱傳導真空計(對流型)

　　105～10-1

　　真空測量特點

　　1、測量壓力范圍寬，105～lO-14Pa。

　　2、大部分真空計是間接測量，只有壓力為105～lOPa時，可直接測單位面積所受的力。但大多數真空測量的壓力遠比上述為小，不能直接測量，應利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導、粘滯性和電離等)進行間接測量。

　　3、多采用非電量電測技術。

　　4、大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分.否則會造成很大誤差。

　　5、測量精度不高。

　　選擇真空計原則

　　1、在要求的壓力區域內有要求的精度。

　　2、被測氣體是否會損傷真空計；真空計可否會給被測氣體狀態帶來影響。

　　3、能測全壓力嗎?可校準嗎?靈敏度與氣體種類有關否。

　　4、可否連續指示、電氣指示以及反應時間長短。

　　5、穩定性、復現性、可靠性和壽命如何。

　　6、要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規格如何。