電子探針分析方法

利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學組成以及各元素的重量百分數。分析前要根據試驗目的制備樣品，樣品表面要清潔。用波譜儀分析樣品時要求樣品平整，否則會降低測得的X射線強度。 1 點分析
用于測定樣品上某個指定點的化學成分。
下圖是用能譜儀得到的某鋼定點分析結果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號同時檢測和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描，甚至還要更換分光晶體。
2 線分析
用于測定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀（波譜儀或能譜儀）固定在所要測量的某元素特征X射線信號（波長或能量）的位置上，把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描，便可得到該元素沿直線特征X射線強度的變化，從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置，便可得到另一元素的X射線強度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像。可見，在Al2O3夾雜存在的地方，Al的X射線峰較強。

3 面分析
用于測定某種元素的面分布情況。方法是將X射線譜儀固定在所要測量的某元素特征X射線信號的位置上，電子束在樣品表面做光柵掃描，此時在熒光屏上便可看到該元素的面分布圖像。顯像管的亮度由試樣給出的X射線強度調制。圖像中的亮區表示這種元素的含量較高。
下圖為34CrNi3Mo鋼中MnS夾雜物的能譜面分析圖像。

（a）S的面分析像 (b) Mn的面分析像 定量分析時，先測得試樣中Y元素的特征X射線強度IY，再在同一條件下測出已知純元素Y的標準試樣特征X射線強度IO。然后兩者分別扣除背底和計數器死時間對所測值的影響，得到相應的強度值IY和IO，兩者相除得到X射線強度之比KY= IY / IO。 直接將測得的強度比KY當作試樣中元素Y的重量濃度，其結果還有很大誤差，通常還需進行三種效應的修正。即原子序數效應的修正，吸收效應修正，熒光效應修正。經過修正，誤差可控制在±2%以內。