化學氣相沉積過程中有化學反應，多種材料相互反應，生成新的的材料。物理氣相沉積中沒有化學反應，材料只是形態有改變。物理氣相沉積技術工藝過程簡單，對環境改善，無污染，耗材少，成膜均勻致密，與基體的結合力強。缺點膜一基結合力弱,鍍膜不耐磨, 并有方 向性化學雜質難以去除。優點可造金屬膜、非金屬膜,又可按要求制造多成分的合金膜,成膜速度快,膜的繞射性好
