激發X射線熒光分析法的概念

當α 、β、γ或X射線作用于樣品時，由于庫侖散射，軌道電子吸收其部分動能，使原子處于激發狀態。由激發態返回基態時發射特征X射線，根據此特征X射線的能量和強度來分析元素的種類和含量。其靈敏度很高，用途很廣。