| 儀器名稱： | 超聲檢測設備 |
| 儀器編號： | 12006229 |
| 產地： | 德國 |
| 生產廠家： | PVA |
| 型號： | KSI SAM300 |
| 出廠日期： | 201110 |
| 購置日期： | 201204 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝 |
| 放置地點： | 微電子所新所一樓微納平臺 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 馬海艷（010-66668888,15911104624,mahaiyan@tsinghua.edu.cn） 胡楊（010-62798268,13810173486,hyang@tsinghua.edu.cn） 王謙（010-62794957,13810134838,wang-qian@tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 無損檢測 集成電路 封裝 |
| 技術指標： | 探頭規格：15MHZ、 30MHZ、 75MHZ、 100MHZ、 150MHZ、 230MHZ、 400MHZ |
| 知名用戶： | 清華大學，北京大學，中科院微電子所，中科院電工所 |
| 技術團隊： | 封裝專區擁有相關先進儀器設備20余臺套，多為進口設備，按功能主要分為：加工、測量/觀察、環境可靠性測試及失效分析。部分設備面對校內外開放，可承擔學校、科研單位和國內外企業的加工、測試及分析等技術服務與咨詢。 |
| 功能特色： | 超聲掃描顯微鏡主要用于檢測并分析半導體封裝技術開發中的元器件內部分層等缺陷，對X-ray不能分辨的裂紋及封裝技術研發過程中粘接層、填充層、涂鍍層、結合層通過無損掃描進行分析。 |
樣品要求：
測試樣品需放在去離子水中檢測
預約說明：
封裝工藝所有的設備均需要提前預約，預約前請聯系設備管理員，討論樣品信息和預約時間，再在網上進行預約。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 低頻探頭15、30、75、100 、150MHz | 元/小時 | 自主上機機時費 | 800.0 | 固體內部缺陷檢測，設備工程師操作，1小時以內按1小時算。 超過1小時部分，以30分鐘為計費單元。 |
| 低頻探頭（150MHz及以下）自主上機測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 800.0 | 1小時以內按1小時算。 超過1小時部分，以30分鐘為計費單元。 |
| 高頻探頭230MHz、400MHz | 元/小時 | 自主上機機時費 | 1200.0 | 固體表面/亞表面缺陷檢測，設備工程師操作，1小時以內按1小時算。 超過1小時部分，以30分鐘為計費單元。 |
| 高頻探頭（230MHz及以上）自主上機測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 1200.0 | 固體表面/亞表面缺陷檢測，設備工程師操作，1小時以內按1小時算。 超過1小時部分，以30分鐘為計費單元。 |
| 低頻探頭（150MHz及以下）送樣測試費 | 元/小時 | 測試費 | 800.0 | 固體內部缺陷檢測，設備工程師操作，1小時以內按1小時算。 超過1小時部分，以30分鐘為計費單元。 |
| 高頻探頭（230MHz及以上）送樣測試費 | 元/小時 | 測試費 | 1200.0 | 固體表面/亞表面缺陷檢測，設備工程師操作，1小時以內按1小時算。 超過1小時部分，以30分鐘為計費單元。 |
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