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  • 發布時間:2024-06-07 17:04 原文鏈接: 清華大學儀器共享平臺JEOL掃描電鏡

    儀器名稱:掃描電鏡
    儀器編號:02012309
    產地:日本
    生產廠家:日本電子公司
    型號:JSM-6460LV
    出廠日期:200208
    購置日期:200210

    image.png

    所屬單位:材料學院>先進材料薄膜材料實驗室
    放置地點:逸夫技科樓1134室
    固定電話:
    固定手機:
    固定email:
    聯系人:曾飛(010-62795373,18600206173,zengfei@mail.tsinghua.edu.cn)
    潘峰(010-62784546,13263457400,panf@mail.tsinghua.edu.cn)
    劉興濤(010-62795910,13910534338,liuxingtao@tsinghua.edu.cn)
    分類標簽:掃描電鏡 形貌 能譜 元素分析
    技術指標:

    二次電子分辨率:3.0nm(30KV,WD8mm);放大倍數:5~300,000;5軸馬達驅動

    知名用戶:Luo J T, Pan F, Fan P, et al. Cost-effective and high frequency surface acoustic wave filters on ZnO: Fe/Si for low-loss and wideband application[J]. Applied Physics Letters, 2012, 101(17): 172909.Fu S, Li Q, Gao S, et al. Quality-enhanced AlN epitaxial films grown on c-sapphire using ZnO buffer layer for SAW applications[J]. Applied Surface Science, 2017, 402: 392-399.
    技術團隊:

    用專職的工程師負責管理維善儀器,多名助教研究生


    功能特色:

    顯微結構的分析,納米尺寸的研究


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