X 射線測定 應力以衍射花樣特征的變化作為應變的量度。宏觀 應力均勻分布在物體中較大范圍內，產生的均勻應變表現為該范圍內方向相同的各 晶粒中同名 晶面間距變化相同，導致衍 射線向某方向位移，這就是X 射線測量宏觀應力的基礎；微觀應力在各晶粒間甚至一個晶粒內各部分間彼此不同，產生的不均勻應變表現為某些區域晶面間距增加、某些區域晶面間距減少，結果使衍射線向不同方向位移，使其衍射線漫散寬化，這是X射線測量微觀應力的基礎。 超微觀應力在應變區內使原子偏離 平衡位置，導致衍 射線強度減弱，故可以通過X射線強度的變化測定超微觀應力。測定應力一般用衍射儀法。
X射線測定 應力具有非破壞性，可測小范圍 局部應力，可測表層應力，可區別應力類型、測量時無需使材料處于無 應力狀態等優點，但其測量精確度受組織結構的影響較大，X射線也難以測定動態瞬時應力。