真空干燥箱為較古老的干燥裝置，箱內被加熱板分成若干層。加熱板中通入熱水或低壓蒸汽作為加熱介質，將鋪有待干燥藥品的料盤放在加熱板上，關閉箱門，箱內用真空泵抽成真空。加熱板在加熱介質的循環流動中將藥品加熱到指定溫度，水分即開始蒸發并隨抽真空逐漸抽走。此設備易于控制，可冷凝回收被蒸發的溶媒，干燥過程中藥品不易被污染，可以用在藥品干燥、包材滅菌及熱處理上。在上世紀80年代原料藥行業多用此設備為主要干燥器，但由于不易對料盤進行在線清洗和在線滅菌，干燥速度慢，工人勞動強度大，而且為實現藥品均一性，干燥后還要經混粉裝置混合，現原料藥大生產上已很少應用，多用于中、小試生產或包材熱處理。