無機質譜儀發展迅速,廣泛用于各領域的分析測試。
但是由于無機質譜儀很多測試樣品含量都在超痕量甚至更低,所以對環境要求就非常高,要求整個分析過程流程中都保持非常高的潔凈環境,所以在部分ICP-MS、高分辨質譜以及同位素質譜儀的實驗室都需要為儀器量身定做潔凈實驗室。