實驗室分析儀器質譜儀器的組成前級泵

前級泵（backing pump）是用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。目前常見的前級泵有：水環式真空泵、旋片式真空泵，立式無油真空泵、往復式真空泵、H、2H滑閥式真空泵等。通過選用不同的前級泵可以得到不同的真空度和抽氣速率。