電感耦合等離子是通過將射頻( radio frequency，RF)發生器產生的能量在電磁場中耦合至等離子支持氣所形成的。
其中電磁場是通過對負載線圈施加一定RF功率(典型值為700~1500W)而產生。負載線圈是由直徑為3mm粗銅管，環繞成2匝或3匝3cm大小的銅環，繞石英炬管安裝并將所形成的等離子限制在炬管內。所產生的交變電流場振蕩頻率與調諧RF發生器一致。
點火時，利用特斯拉( Tesla)線圈放電或壓電啟動器使線圈附近的等離子支持氣電離，形成“種子”電子，將等離子點燃。等離子點燃后，通過感應耦合得以維持。
“種子”電子在電磁射頻場中加速，與中性氣體原子碰撞，形成電離媒介(常壓下氬氣氛圍中加速電子的平均自由程約為1pm。)電子與原子的碰撞產生更多電子，造成“雪崩”效應，進而維持等離子。氣體一旦電離后，只要負載線圈上施加有RF功率，氣體粒子將進行自我維持。等離子體(ICP)是外形像明亮的火球狀的放電體。