最常用的,人們一般采用外來污染碳的C1s 作為基準峰來進行校準。以測量值和參考值(284.8 eV)之差作為荷電校正值(Δ) 來矯正譜中其他元素的結合能。
具體操作:1) 求取荷電校正值:C 單質的標準峰位(一般采用284.8 eV)- 實際測得的C 單質峰位= 荷電校正值Δ;2) 采用荷電校正值對其他譜圖進行校正:將要分析元素的XPS 圖譜的結合能加上Δ,即得到校正后的峰位(整個過程中XPS 譜圖強度不變)。
將校正后的峰位和強度作圖得到的就是校正后的XPS 譜圖。
