（1）氣氛
X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素，具體而言，從鈉元素（原子序數Z=11）到鈾元素（原子序數Z=92）都可以利用這種技術進行檢測分析。但是對于原子序數較低的元素（鈦元素Ti，Z=22以下），空氣會對檢測結果產生較大影響；由低原子序數元素產生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會吸收低原子序數元素的能量輻射。
（2）探測器
在能量色散X射線熒光光譜儀中，硅探測器已經變得非常普遍；今天用到的硅探測器要么就是上面提到的硅漂移探測器，要么就是Si-PIN探測器，而比較流行的第三種探測器是一種密封的、充氣的正比計數器（Prop Counter）。
（3）X射線源（X射線管、供電電源、濾光片、光束尺寸）
X射線管和供電電源決定了檢測樣品將受到的能量強度和能量分布。商業化的能量色散X射線熒光光譜儀中用到的大多數X射線管都是50KV，1mA（50W）規格的。50KV的高電壓能夠提供更高的激發效率；X射線管通量可以利用燈絲電流設置進行控制。