定性離子一般選質荷比大且響應值高的。選質荷比大是因為小質荷比的離子不具有代表性，很多物質都可以裂解出它。響應值高是為了提高檢測限，便于定量。
質譜計必須在高真空下才能工作。用以取得所需真空度的閥泵系統，一般由前級泵和油擴散泵或分子渦輪泵等組成。擴散泵能使離子源保持在10～10毫米汞柱的真空度。有時在分析器中還有一只擴散泵，能維持10～10毫米汞柱的真空度。
質譜法原理：
使試樣中各組分電離生成不同荷質比的離子，經加速電場的作用，形成離子束，進入質量分析器，利用電場和磁場使發生相反的速度色散——離子束中速度較慢的離子通過電場后偏轉大，速度快的偏轉小；在磁場中離子發生角速度矢量相反的偏轉。
即速度慢的離子依然偏轉大，速度快的偏轉小；當兩個場的偏轉作用彼此補償時，它們的軌道便相交于一點。與此同時，在磁場中還能發生質量的分離。
這樣就使具有同一質荷比而速度不同的離子聚焦在同一點上，不同質荷比的離子聚焦在不同的點上，將它們分別聚焦而得到質譜圖，從而確定其質量。
