單晶爐簡介：
單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
單晶爐構成：
提拉頭：主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成
副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成
爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成
爐筒：包括取光孔
下爐筒：包括抽真空管道
底座機架：全鑄鐵機架和底座
坩堝下傳動裝置：主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成
分水器已經水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠管 水管卡套等
氬氣管道布置：質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件
真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等
電源以及電控柜：電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線