X射線熒光光譜儀(XRF)是用于元素定量分析的儀器,廣泛應用于鋼鐵、水泥、石油化工、環境保護、有色冶煉、材料、科研等各個領域,其在制樣方便、無損、快速等方面優于其它分析方法,但其在定量精度和樣品適應范圍等方面一直存在挑戰。
當前XRF廣泛應用的領域往往具備三個特點:一是樣品基體相對穩定;二是分析元素種類有限,往往針對樣品中幾個元素分析;三是存在一系列的標準樣品或容易制備定值樣品。上述特點,正是基于XRF定量分析的基本需求。通常X射線熒光光譜分析,會采用多元回歸法,通過對標準樣品的各個元素的熒光強度與含量建立數學模型,得到校準曲線,用于對未知樣品中元素含量進行定量分析。然而,即使有一系列標準樣品用于建立校準曲線,對未知樣品的定量分析精度也受到與標準樣品基體一致性、元素之間含量關系、樣品制備是否達到標準樣品物理狀態等情況的影響。