光學經緯儀有以下部件組成:1、望遠鏡,2、照準部,3、度盤,4、測微器系統,5、軸系,6、水準器,7、基座及腳螺旋,8、光學對點器
幾大部分組成; 電子經緯儀有以下部件組成:1、望遠鏡,2、照準部,3、光柵盤或光學碼盤,4、測微器系統,5、軸系,6、水準器,7、基座及腳螺旋,8、光學對點器,9、讀數面板幾大部分組成。